ASML is actief op de metrologiemarkt door de ontwikkeling van de Yieldstar productlijn, bestaande uit machines voor het meten van de overlay en kritische dimensies van structuren die worden geprint op wafers door een TwinScan. Het belangrijkste doel is het leveren van een “closed loop” oplossing, die de performance van de TwinScan vergroot door gebruik te maken van metrologie op iedere geprinte wafer van deze TwinScan.
Probleem
ASML is wereldleider in lithografie met zijn TwinScan machines en vergrootte haar business activiteit in metrologie door het ontwikkelen van de Yieldstar productlijn, bestaande uit machines die de overlay en kritische dimensies kunnen meten van structuren die worden geprint op wafers door de TwinScan. Het belangrijkste doel is het leveren van een “closed loop” oplossing aan klanten, waar de afwijkingen van de TwinScan automatisch door de Yieldstar kunnen worden gecorrigeerd op basis van de meetresultaten van iedere geprinte wafer.
HighTech Innovators heeft mee-ontwikkeld aan de control software voor de complete Yieldstar productlijn en de applicaties voor het meten van de overlay en de kritische dimensies.
Oplossing
Een architectuur voor de productlijn is ontwikkeld, de software is ontwikkeld in C#/WinForms/WPF. Tot nu toe zijn een 3-tal producten in deze productlijn op de markt gezet (S100. S200 en T200)
Tools en technieken
- .NET Framework
- .NET remoting
- WPF
- High Performance Computing Cluster based on Windows
| Klant: | ASML |
| Industrie: | Chip Manufacturing |
| Oplossing: | YieldStar Control Software |